微波采用灼烧或干热空气灭菌，称为干热灭菌。虽然干燥主热空气的穿透力不如湿热蒸汽强，但它使用方便，适用于玻璃器皿和瓷器等物的灭菌，故广泛应用于实验室和生产实践。
干热是指相对湿度在20％以下的高热。干热消毒灭菌是由空气导热，传热效果较慢。一般繁殖体在干热80－100℃中经1小时可以杀死，芽胞需160－170℃经2小时方可杀死。
